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微纳机器人研究所

研究所简介

        研究所围绕智能硬件与MEMS传感器开展技术创新与产品开发,重点开发纸基MEMS传感器,视觉、数据采集等领域的应用产品,带动、促进相关技术升级及产业化。

研究方向

微纳传感与智能装备

纸基MEMS传感器 | MEMS压力传感器 | MEMS加速度传感器

数据采集

边缘计算 | 物联网通信协议 | 数据加密与安全

研究成果

纳米机械性能测试仪

NMT型纳米机械测试仪提供了高速高精度的微纳机械性能测试功能。具有纳米级运动定位精度、以及测量纳牛力的能力。可用于微纳机械性能测试以及形貌成像扫描等。

自动纳米操作机

纳米操作机是全球唯一有位移反馈传感器的纳米操作系统,具有厘米级运动行程,定位分辨率0.1纳米,重复定位精度优于5纳米。并针对SEM真空环境优化设计,机器可快速安装与方便拆卸。

高真空环境/SEM兼容的原子力显微镜

EM-AFM纳米操作系统提供了在高真空环境或SEMs电镜中原子力显微镜成像和定量测量纳米力的能力。它使得SEM和AFM这两种技术最佳结合,提供了高速高分辨率的3D图像反馈,以及微纳米和亚纳米尺度纳牛力相互作用的实时观测。